ロボット
本文
ガラス基板搬送用ロボット
SCシリーズ SC400LC |
 |
||
| 第10世代ガラス基板まで対応可能な余裕の可搬質量400kg。 多関節型の特長を活かし、水平搬送だけではなく、反転などガラス基板を搬送するあらゆるシーンで活用いただけます。 | |||
 |
|||
ST-CFシリーズ ST133CF/166CF/210CF-01 |
 |
||
| 最大可搬質量210kgまで対応し、大型パネルの搬送に最適です。 クリーン度はISOクラス6に対応。大型LCDを採用したティーチングペンダントにより簡単でわかりやすい操作が可能です。 |
|||
|
|||