標準型イオンプレーティング装置 SH-4-8
サーモテック
本文
標準型イオンプレーティング装置 SH-4-8
仕様
| 膜質 (※1)（膜厚） | TiN、TiCN、VC(※2)（2〜4μm(最高5μm)）、 "クロニオン"(※2)（3〜6μm(最高7μm)） |
|---|---|
| 処理温度 | コーティングの最終工程で約400〜500℃ |
| 処理有効寸法 | 径170mm×高さ320mm×8軸 |
| 処理品重量 (ジグを含み1軸当り) |
自公転時 最高10kg、自公転なし 最高15kg |
| 構成機器 | コーティング装置本体、排気装置、電源装置、制御装置、 制御用パソコン、温水槽 |
| ユーティリティ | 電力、冷却水、Arガス、原料窒素ガス、冷却用窒素ガス、 圧縮空気、蒸発金属 |
| オプション | ジグ、洗浄装置、膜厚測定器、スクラッチテスタ、脱磁器、 リークディテクタ |
(※1) 装置にはTiNもしくは、クロニオンのいずれか1つの成膜ソフトが付属されます。
(※2) TiCN膜、VC膜はオプションです。
配置図
