MVP搭載DLCコーティング装置 SMVP-1020
サーモテック
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MVP搭載DLCコーティング装置 SMVP-1020
仕様
| 型式 | SMVP-1020 |
|---|---|
| 成膜有効範囲 | Ø250 × 500h mm |
| 処理数 | 50kg (G.C.) |
| 寸法※1 | 2100(W) × 2000(L) × 2100(H) mm |
| 重量※2 | 2.5 ton |
| 電源 | 40kVA |
| 冷却水 | 20°C以下 0.3MPa 最大50L/min |
| 使用ガス | Ar、C2H2、TMS、N2、LN2、Air |
| 排気系 | ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ |
| 成膜可能膜種 | DLC |
※1 標準配置図状態での寸法です。
※2 本体、制御盤、電源盤、ポンプ等の総重量です。
成膜可能膜種
| 膜種 | 標準膜圧 (µm) |
膜硬度 (HV) |
摩擦係数 | 耐熱温度 (°C) |
特徴 |
|---|---|---|---|---|---|
| DLC-S | 0.5〜3 | 300〜1500 | 0.1 | 300 | 低摩擦係数 耐摩耗性 生体親和性 化学安定性 |
| DLC-H | 1500〜3000 | ||||
| Si-DLC | 500〜2500 |
配置図
