ハイブリッドイオンプレーティング装置 SPS-2020
サーモテック
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ハイブリッドイオンプレーティング装置 SPS-2020
仕様
| 型式 | SPS-2020 |
|---|---|
| 成膜有効範囲 | Ø500 × 500h |
| 処理量 | 200kg (N.C.) |
| 寸法※1 | 5000(W) × 4500(L) × 3000(H) mm |
| 重量※2 | 4.0 ton |
| 電源 | 3Ø 200V 50/60Hz 200kVA |
| 冷却水 | 20°C以下の上水 0.1MPa 最大30L/min. |
| 使用ガス※3 | Ar、C2H2、N2、LN2、Air |
| 成膜可能膜種※3 | DLC、TiN、CrN、TiAlN 等 |
※1 標準配置図状態での寸法です。
※2 本体、制御盤、電源盤、ポンプ等の総重量です。
※3 その他オプション、膜種等についてはご相談ください。
成膜可能膜種
| 膜種 | 標準膜圧 (µm) |
膜硬度 (HV) |
摩擦係数 | 耐熱温度 (°C) |
特徴 | 主な用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DLC-S | 0.5〜3 | 300〜1500 | 0.1 | 300 | 低摩擦係数 耐摩耗性 |
切削工具 金型 摺動部品 |
| DLC-H | 0.5〜1.5 | 1500〜3000 | ||||
| Me-DLC | 0.5〜1.5 | 500〜1500 | ||||
| TiN | 2〜4 | 2000〜2800 | 0.6 | 400 | 耐摩耗性 広い適用性 |
切削工具 金型 |
| CrN | 2〜4 | 1100〜2000 | 0.5 | 700 | 耐熱性 非凝着性 |
金型 摺動部品 |
| TiAlN | 2〜4 | 2200〜3000 | 0.7 | 850 | 耐摩耗性 耐熱性 |
切削工具 |
配置図
