不二越 / ガラス基板搬送用ロボット SCシリーズ SC400LC
ロボット
本文
SCシリーズ SC400LC
超大型FPDガラス基板搬送用クリーンロボット
| ロボット型式 | SC400LC-01 | |||
|---|---|---|---|---|
| 構造 | 関節形 | |||
| 自 由 度 | 6 | |||
| 駆動方式 | AC サーボ方式 | |||
| 最 大 動 作 範 囲 |
腕 | J1 | 旋回 | ±2.62rad |
| J2 | 上下 | +1.83〜-0.44rad | ||
| J3 | 前後 | ＋2.09〜−0.44rad | ||
| 手首 | J4 | 回転2 | ±5.24rad | |
| J5 | 曲げ | ±2.09rad | ||
| J6 | 回転1 | ±6.28rad | ||
| 最 大 速 度 |
腕 | J1 | 旋回 | 1.40rad/s |
| J2 | 上下 | 1.40rad/s | ||
| J3 | 前後 | 1.40rad/s | ||
| 手首 | J4 | 回転2 | 1.57rad/s | |
| J5 | 曲げ | 1.57rad/s | ||
| J6 | 回転1 | 2.53rad/s | ||
| 最大 可搬質量 |
手首部 | 400kg | ||
| アーム部 | 第1アーム | 10kg 注1 | ||
| J3軸上部 | 30kg 注1 | |||
| 手首許容 静負荷 トルク |
J4 | 回転2 | 1960N･m | |
| J5 | 曲げ | 1960N･m | ||
| J6 | 回転1 | 980N･m | ||
| 手首許容 最大慣性 モーメント |
J4 | 回転2 | 200kg･m2 | |
| J5 | 曲げ | 200kg･m2 | ||
| J6 | 回転1 | 147kg･m2 | ||
| クリーン度 | クラス1000 （Federal Standard 209D） | |||
| 位置繰返し精度 | ±0.5mm | |||
| 周囲温度 | 10〜30°C | |||
| 周囲湿度 | 20 〜85 ％RH （結露なきこと） | |||
| 振動値 | 0.5G 以下 | |||
| 設置条件 | 棚置 | |||
| 本体質量 | 3800kg | |||
1 [ rad] =180 /π [ [ °] ,1 [ N ･m] =1 / 9.8 [ kgf ･m]
アーム上負荷の搭載は、第1アームまたはJ3軸上部のいずれかとします。